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        1. 電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

          上海伯東代理電子束蒸鍍設備, 真空鍍膜機專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導量子實驗室制備超導結 ( 量子比特和約瑟夫森結 ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩定性和可重復性超導結. 提供各種類型的 MBE, E-beam, Sputter, IBE. 提供客制化設備, 擅長各種類型系統的集成.

          電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

           EBS-150
           真空度 5E-8 torr, 最大 8inch 樣品

          電子束蒸發

           EBS-150 UHV
           真空度 5E-10 torr, 最大 6inch 樣品

           EBS-300 Dual
           真空度 5E-7 torr, 雙 E-gun

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