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        1. 電子束蒸發鍍膜機 E-Beam
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          電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

          電子束蒸發鍍膜 E-Beam
          上海伯東代理 E-Beam 電子束蒸發鍍膜機 ( 電子蒸鍍 ), 最大真空度可達 5E-10 torr, 提供客制化服務.

          電子束蒸發鍍膜機

           推薦設備型號: EBS-150
           標準的設計, 左邊 load lock 腔體, 包含氧化和蝕刻過程; 
           右邊沉積腔內含一個電子束, 適用于約瑟夫森結,
           特性:
           真空度 5E-8 torr
           最大 8inch 樣品
           基本可傾斜 / 旋轉
           可選 IBAD
           全自動
           腔室水冷

           

           型號 EBS-150 UHV
           特性:

           真空度 5E-10 torr
           最大 6inch 樣品
           基本可傾斜 / 旋轉
           可選 IBAD
           全自動
           腔室水冷

           

          電子束蒸發

           型號 EBS-300 Dual
           特性:

           真空度 5E-7 torr
           行星機械手
           雙 E-gun
           全自動加工
           軟件控制


          E-Beam 電子束蒸發適用于
          Lift-off 工藝
          HMET, PHMET 晶體管
          Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化鎵基片歐姆和肖特基接觸
          IR waveguides 紅外波導
          Thermal barriers 熱障
          Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波應用
          MEMS 封裝
          超導隧道結


          上海伯東代理電子束蒸鍍設備,專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導量子實驗室制備超導結 ( 量子比特和約瑟夫森結 ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩定性和可重復性超導結. 電子束蒸發設備提供客制化服務, 滿足各類不同真空系統整合需求!

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