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        1. KRI 考夫曼離子源 KDC 160
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          KRI 考夫曼離子源 KDC 160

          KRI 考夫曼離子源 KDC 160
          上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,離子能量最強的柵極離子源, 適用于已知的所有離子源應用, 離子源 KDC 160 高輸出設計,最大電流超過 1000 mA. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計,標準配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.

          KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數

          型號

          KDC 160

          供電

          DC magnetic confinement

           - 陰極燈絲

          2

           - 陽極電壓

          0-100V DC

          電子束

          OptiBeam™

           - 柵極

          專用, 自對準

           -柵極直徑

          16 cm

          中和器

          燈絲

          電源控制

          KSC 1212

          配置

          -

           - 陰極中和器

          Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

           - 安裝

          移動或快速法蘭

           - 高度

          9.92'

           - 直徑

          9.1'

           - 離子束

          聚焦
          平行
          散設

           -加工材料

          金屬
          電介質
          半導體

           -工藝氣體

          惰性
          活性
          混合

           -安裝距離

          8-45”

           - 自動控制

          控制4種氣體

          * 可選: 可調角度的支架

          KRI 考夫曼離子源 KDC 160 應用領域
          濺鍍和蒸發鍍膜 PC
          輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
          表面改性, 激活 SM
          離子濺射沉積和多層結構 IBSD
          離子蝕刻 IBE

          其他產品
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