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        1. Thermonics 超低溫冰水機
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          Thermonics 超低溫冰水機

          Thermonics 超低溫冰水機
          上海伯東美國 inTEST 旗下 Thermonics® 超低溫冰水機, 可以匹配各種熱交換液體媒介, 提供低溫極限 -80°C, -60°C, -40°C 共計 18種標準機型, 低溫冰水機單級壓縮機, 級聯冷卻, 冷凝器水冷或風冷; 可編程的觸摸屏, 支持遠程通訊. 低溫冰水機方便移動操作, 滿足高容量的制冷需求, 適用于汽車, 能源, 工業化學, 半導體等行業.

          Thermonics 超低溫冰水機: 精密溫度控制, 適用于半導體前端和后端的應用, 例如半導體刻蝕設備降溫
          . 最高冷卻功率 15 kW
          . 溫度范圍:  -80 至 200 °C
          . 適合各種熱交換流體
          . 風冷和水冷模式
          . 導熱流體壓力和流量控制
          . ISO 9001 和 ITAR 認證
          . 可編程的觸摸屏
          低溫工藝流體冰水機
          Thermonics 超低溫冰水機, 風冷型

          型號

          溫度范圍
          °C

          精度
          °C

          冷卻能力 kW @ 20°C 供水

          泵抽速
          l/min

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          A-40-1100

          -40 至 +50

          ±0.5

          6.6

          6.6

          4.0

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          A-40-1900

          -40 至 +50

          ±0.5

          9.5

          9.5

          5.4

          1.9

          0.7

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          A-40-2700

          -40 至 +50

          ±0.5

          14.5

          14.5

          9.6

          2.7

          1.2

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          A-60-2700

          -60 至 +50

          ±0.5

          3.9

          3.9

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          下載 PDF

          A-60-3000

          -60 至 +50

          ±0.5

          4.6

          4.6

          3.7

          3.5

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          3.0

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          下載 PDF

          A-60-4600

          -60 至 +50

          ±0.5

          6.7

          6.7

          6.1

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          4.6

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          A-80-500

          -80 至 +50

          ±0.5

          2.3

          2.3

          2.2

          2.1

          2.0

          1.8

          1.5

          0.5

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          下載 PDF

          A-80-1700

          -80 至 +50

          ±0.5

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          3.1

          2.8

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          2.3

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          1.7

          23

          下載 PDF

          A-80-2400

          -80 至 +50

          ±0.5

          5.0

          5.1

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          3.9

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          Thermonics 超低溫冰水機, 水冷型

          型號

          溫度范圍
          °C

          精度
          °C

          冷卻能力 kW @ 20°C 供水

          泵抽速
          l/min

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          W-40-1100

          -40 至 +50

          ±0.5

          8.0

          8.0

          4.6

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          0.6

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          W-40-2000

          -40 至 +50

          ±0.5

          10.0

          10.0

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          W-40-3100

          -40 至 +50

          ±0.5

          15.5

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          10.0

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          W-60-2800

          -60 至 +50

          ±0.5

          4.0

          4.0

          3.7

          3.2

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          2.8

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          W-60-3100

          -60 至 +50

          ±0.5

          4.7

          4.7

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          3.7

          3.6

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          1.1

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          下載 PDF

          W-60-4700

          -60 至 +50

          ±0.5

          6.8

          6.8

          6.2

          5.4

          5.2

          4.7

          4.0

          -

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          下載 PDF

          W-80-600

          -80 至 +50

          ±0.5

          2.5

          2.5

          2.3

          2.1

          2.0

          1.8

          1.6

          0.6

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          下載 PDF

          W-80-1800

          -80 至 +50

          ±0.5

          3.5

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          3.2

          2.9

          2.8

          2.4

          2.2

          1.8

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          下載 PDF

          W-80-2500

          -80 至 +50

          ±0.5

          5.1

          5.1

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          3.2

          2.5

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          * 所有水冷和風冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
          * -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導液
          * 如果需要使用其他類型熱傳導液或流速, 請聯絡上海伯東

          Thermonics 超低溫冰水機典型應用
          1. 半導體行業: 在離子注入機中冷卻硅片夾
          2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
          3. 科研領域: 在一個壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊

          Thermonics® 制冷機主要應用于能源, 化學工藝, 工業和半導體制造, 例如如下:

          制冷機類型

          冷卻方式

          Max.Capacity

          溫度范圍

          導熱介質

          應用市場

          傳導液制冷
          雙極

          水冷

          5kW @ -20°C

          -40 至 25°C    

          Syltherm XLT

          化學

          傳導液制冷
          單極

          水冷

          2.5kW @ -60°C

          -60 至 25°C

          Syltherm XLT

          化學

          傳導液制冷
          單極

          風冷

          270W @ -50°C

          -50 至 120°C

          HFE-7500   

          半導體

          傳導液制冷
          雙極

          風冷

          300W @ -80°C

          -80 至 200°C

          Syltherm XLT

          國防

          傳導液制冷
          雙極

          風冷

          3KW @ -60°C

          -60 至 20°C

          KRYO 60 

          能源

          氣體制冷
          自然復疊

          風冷

          -100 °C @ 8 scfm

          -100 °C至空氣

          清潔,干燥空氣

          工業

          傳導液制冷
          雙極

          水冷

          2.2KW @ 20°C

          -50 至 40 °C

          HFE-7500

          半導體

          傳導液制冷
          單極

          水冷

          12KW @ 15°C

          -15 至 20 °C

          PGW (25%)

          半導體

          氣體制冷
          自然復疊

          風冷

          -90°C @ 18scfm

          -90 至 225 °C

          清潔,干燥空氣

          汽車

          傳導液制冷
          單極

          風冷

          1.5 KW @ -30 °C

          -40 至 50 °C

          Syltherm XLT

          工業

          傳導液制冷
          雙極

          水冷

          3.3KW @ -50°C

          -50 至 20 °C

          Syltherm HF

          汽車


          Thermonics 低溫冰水機原理:
          冰水機 chiller
           

          Thermonics 超低溫冰水機在半導體行業中的應用
          前端 Front End
          離子注入 Ion Implant
          蝕刻設備 Etch: 降溫晶圓,
          沉積設備 Deposition
          后端 Back End
          各種測試處理 Final Test Handlers:
          舉例: Thermonics 冰水機將制冷液體泵入測試設備進行半導體器件的冷態測試, Thermonics 冰水機可與各類半導體測試設備聯用.

          美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機超低溫液氮, 液態二氧化碳制冷機. Thermonics 低溫冰水機可選水冷或氣冷, 并與各種導熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝冷卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理. 

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