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        1. 鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220
          閱讀數: 5626

          鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

          鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
          上海伯東德國普發 Pfeiffer 真空鍍膜工藝監測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了完美的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發的鍍膜工藝監測器離子源, 在高達 10-2 hPa 的壓力下, 實現了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時提供一個帶有壓差孔板法蘭的型號供選擇, 可以實現在高達 10 hPa 的壓力范圍里進行直接的工藝氣體分析.

          鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優勢
          用于瞬時過程監測的鍍膜工藝監測器離子源
          用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優秀檢測限
          對測量結果的最小化背景影響
          提供壓力高達 10 hPa 的壓差型號
          多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
          靈活集成的緊湊尺寸
          通過各種數字和模擬輸入和輸出, 使系統集成方便而靈活

          鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應用
          半導體生產,玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發電,研發

          鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 組成:渦輪分子泵+四級桿質譜+離子源
          Pfeiffer 普發鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

          鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 優勢:
          鍍膜工藝監測器離子源,適用于瞬時過程監測
          對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優秀檢測極限
          對測量結果的最小化背景影響
          壓力高達 10 hPa 的壓差版本
          多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
          緊湊設計,易于系統集成
          通過各種數字和模擬輸入和輸出
          Pfeiffer監測質譜 SPM 220 技術參數:

          SPM 系統控制

          BRU 220

          電壓

          115-230 V

          前級泵

          MVP 020-3

          四極控制

          QME 220

          帶 SPM 離子源的分析儀

          QMA 220

          探測器

          C-SEM/Faraday

          桿系統:材料

          不銹鋼

          桿系統:直徑

          6 mm 

          桿系統:長度

          100 mm 

          檢測極限(氬中):二氧化碳

          < 100 ppb

          檢測極限(氬中):氧氣

          < 100 ppb

          檢測極限(氬中):氮

          < 100 ppb

          檢測極限(氬中):水

          < 3000 ppb

          檢測極限(氬中):水蒸氣

          < 500 ppb or < 6000 ppb

          渦輪分子泵

          帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80

          質量數

           

          1-100 amu or 1-200 amu

          過程壓力至

          1 hPa or 10 hPa or 8hPa

          連接法蘭(入口)

          DN 40 CF-F

          重量

          13 kg 

           

          若您需要進一步的了解詳細信息或討論,請參考以下聯絡方式:
          上海伯東:葉女士                         臺灣伯東:王女士
          T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
          F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
          M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
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