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        1. 干式真空泵 A4X 系列
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          干式真空泵 A4X 系列

          干式真空泵 A4X 系列
          上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業,干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求,特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高,有效降低了企業成本。

          干式真空泵 A4X 系列核心優勢:
          耐腐蝕設計,使用壽命長
          通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
          特殊設計,避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
          配置氮氣吹掃閥,耐粉塵

          干式真空泵 A4X 系列應用
          半導體:(蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
          涂料行業:光伏和 LED

          干式真空泵 A4X 系列技術參數:

          型號

          A 124 H

          A 604 H

          A 1204 H

          A 204 H
          A 204 X

          A 804 H
          A 804 X

          A 1504 H
          A 1504 X

          A 1804 H
          A 1804 X

          抽速 m3/h

          110

          560

          1150

          160

          700

          1200

          1700

          極限真空
          (氮氣吹掃閥關閉) hPa

          2X10-2

          2X10-4

          9X10-4

          5X10-2

          2X10-3

          2X10-3

          2X10-3

          極限真空
          (氮氣吹掃閥50 SLM) hPa

          5X10-2

          6X10-3

          6X10-3

          2X10-1

          9X10-3

          9X10-3

          9X10-3

          全轉速最大進氣氣流 SLM

          80

          60

          55

          150

          100

          100

          70

          最大功率 KW

          1.5

          1.9

          2.3

          1.8

          2.2

          2.6

          2.6

          最大排氣壓力hPa

          1200

          1200

          1200

          1200

          1200

          1200

          1200

          進氣口 ISO-KF

          DN 50

          DN 100

          DN 160

          DN 50

          DN 100

          DN 160

          DN 160

          重量 kg

          250

          370

          530

          260

          380

          540

          540

           

          干式真空泵 A4X 系列抽速:
          上海伯東干式真空泵 Adixen

          上海伯東 Adixen 干式真空泵


           

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