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        1. HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系列
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          HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系列

          HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
          上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環境而設計. HVA 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側密封的門上雙密封設計, 閥門內部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護設計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應用. 

          HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
          易于系統集成, 幾乎滿足所有應用
          不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
          真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
          使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
          高壓和機械加工的不銹鋼閥體
          真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
          手動或氣動控制
          標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
          真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
          全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口

          HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數:

           閥門材質:

           - 閥門主體

           304 不銹鋼

           - 焊接波紋管軸封

           AM - 350

           閥門密封方式

           - 高真空

           氟橡膠

           真空:

           - 壓力范圍

           高真空 1x10-9 mbar

           - 漏率

           < 2x10-9  mbar l/S

           - 差壓關閉

           2 bar (任意位置)

           - 開啟前最大壓力

           ≤ 1 bar

           烘烤溫度(不含電磁閥):

           - 佛橡膠密封

           150 °c, 可選配置最大 250 °c

           - 驅動方式

           手動 60 °c, 氣動 60 °c

           - 氣體

           80 psig (5.5 bar)

           - 電磁

           4.0 Watts

           - 供電

           120 VAC 50 /60 Hz

           - 可選電壓

           24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
           或 12, 24 VDC

           - 位置指示器,最大

           115 VAC
           或 28 VDC, 20 mA

           使用壽命: > 250,000  啟閉次數 (具體視實際使用情況決定)

           公稱通徑: DN 50 - 200 mm


          HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
          美國 HVA 真空閘閥71000系列

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