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        1. 線性霍爾離子源 eH Linear
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          線性霍爾離子源 eH Linear

          KRI 線性霍爾離子源 eH Linear
          上海伯東代理美國原裝進口 KRI  線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應用于寬范圍的襯底, 離子源長度高達 1 米, 通過嚴格調整模組間的距離可以實現最佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡化了氣體, 功率和電子三者的分布. KRI 線性離子源使用標準的端部霍爾模組并使設備的需求簡化, 一個低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉濺射系統.

          霍爾離子源 eH 400 尺寸
          尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
          放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
          操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

          KRI 霍爾離子源 eH Linear 技術參數

          型號

          eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

          供電

          DC magnetic confinement

            - 電壓

          40-200V VDC

            - 陽極結構

          模塊化

          電源控制

          eHL-30010A

          配置

          -

            - 陰極中和器

          Filamentless

            - 離子束發散角度

          > 45° (hwhm)

            - 陽極

          標準或 Grooved

            - 底座

          移動或快接法蘭

            - 高度

          10 cm

          寬度

          10 cm

            - 長度

          ~ 100cm

            -工藝氣體

          Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

           

          Model

          eHL 200-3

          eHL 200-5

          Height (nominal)

          2.9” (7.4cm)

          2.9” (7.4cm)

          Width (nominal)

          3.3” (8.4cm)

          3.3” (8.4cm)

          Length (nominal)

          Determined by number of modules & application

          Determined by number of modules & application

          Cathode/Neutralizer

          Yes

          Yes

          Anode module

          Yes

          Yes

          Filamentless

          Yes

          Yes

          Orientation

          Vertical / Horizontal

          Vertical / Horizontal

          Process gases

          Inert, reactive, & organic

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          Power controller

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